OverViz
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Plasmamodellierung
VizGlow™ ist ein industrielles Simulationswerkzeug für die realitätsgetreue Modellierung von Nicht-Gleichgewichts-Plasmaentladungen. Als Teil der OverViz™ Simulationssuite kann es vollständig mit elektromagnetischen, Strömungs- und kinetischen Teilchenmodellen gekoppelt werden, um Lösungen für eine Vielzahl komplexer Multiphysik-Probleme bereitzustellen. VizGlow wurde zur Analyse von Entladungen verwendet, die von Niederdruck-Plasmareaktoren bei einigen mTorr bis zu Hochdruck-Streamern bei 15 atm reichen – und das alles mit einem einzigen Solver. VizGlow ist vollständig parallelisiert und kann zur Durchführung großer 3-D-Simulationen mit komplexen Geometrien eingesetzt werden.
Herausforderungen für die Industrie
Benutzer von Plasmasimulatoren stehen ständig vor der Herausforderung, das richtige Modell für ein bestimmtes Plasmaproblem und den richtigen numerischen Ansatz zur Lösung des Problems zu wählen sowie die Ergebnisse eines Simulators richtig zu interpretieren. Die Ausrichtung von VizGlow auf die in der Halbleiterindustrie auftretenden Probleme hat das Produkt in den zwei Jahrzehnten seiner Simulationsverifizierung und Validierungskampagnen geprägt. Von Anfang an wurde VizGlow so konzipiert, dass alle unterschiedlichen physikalischen Aspekte in einem einzigen Framework berücksichtigt sind.
Wichtige Kundenvorteile
- VizGlow unterstützt seit Langem Halbleiterausrüstungen und die IC-Fertigungsindustrie. Halbleiterhersteller verwenden VizGlow, um bestehende Anlagen zu analysieren, Prozesse zu verbessern und neue Anlagenkonzepte zu entwickeln. IC-Hersteller nutzen unsere Software, um ihre Fertigungsprozesse zu optimieren, Prozessanomalien zu erkennen und zu beheben und neue Anlagen zu konzipieren.
- VizGlow wird außerdem durch die vollständige Kopplung mit einer umfangreichen chemischen Datenbank über ChemZone unterstützt. Diese Datenbank wurde zur schnellen Untersuchung großer Prozessparameterräume in der Halbleiterherstellung sowie zur Entwicklung und Validierung von neuen chemischen Kinetikmechanismen mit begrenzter Rate, Prozessplasmen, Verbrennung und anderer chemischer Gaskinetik genutzt.
Produktangebot
- VizGlow – vollständig gekoppelter Nicht-Gleichgewichts-Plasma-Solver
- VizSpark – thermischer Plasmasimulator
- ChemZone – schneller Simulator für die Plasmachemie
Hauptanwendungsbereiche
- Ätzen und Abscheidung von Halbleitern
- Optimierung von Herstellungsrezepten und Prozessen
- Identifizierung und Behebung von Prozessanomalien
- Plasma-Antrieb
- Simulation des Staub- und Plasmaverhaltens
- Laser-Plasma-Simulation