HF MEMS Archives - Lam Research
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Solution: HF MEMS

Pulsus-Produktfamilie

Gepulste Laserabscheidung (PLD)

Unsere Pulsus-Produktfamilie bietet Lösungen für die die Dünnschichtabscheidung einer breiten Palette komplexer Multielement-Materialien für Spezialtechnologien.

Reliant-Abscheidungsprodukte

Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) Chemische Plasma-Gasphasenabscheidung mit hoher Dichte (HDP-CVD) Gepulste Laserabscheidung (PLD) Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) Reliant Systems

Unsere Reliant-Abscheidungsprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.

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