Solution: Logik
Akara®
Akara® wurde für die Massenproduktion mit maximaler Prozessausbeute entwickelt. Das Produkt erhöht den Waferausstoß und eliminiert Zeitverluste, da es innerhalb von Millisekunden auf jede Änderung reagiert. Die branchenweit fortschrittlichste Steuerung der Ätzgleichmäßigkeit sorgt für Gleichmäßigkeit bei kritischen Abmessungen im Angstrombereich sowie Wafer-to-Wafer-Wiederholbarkeit.
Dextro™
Automatisierung Reinigung Wartung
Dextro ist eine mobile Einheit mit einem Roboterarm und verwendet verschiedene Endeffektoren als Hände, um kritische Wartungsaufgaben zu erledigen, die bei manueller Ausführung zeitaufwendig und fehleranfällig sind. Dextro wird von einem Fertigungstechniker oder Ingenieur bedient und führt komplexe Wartungsaufgaben mit einer Präzision und Wiederholgenauigkeit durch, die über die menschlichen Fähigkeiten hinausgehen. So ermöglicht er eine Lesen Sie mehr…