Technology: Gepulste Laserabscheidung (PLD)
Pulsus-Produktfamilie
Gepulste Laserabscheidung (PLD)
Unsere Pulsus-Produktfamilie bietet Lösungen für die die Dünnschichtabscheidung einer breiten Palette komplexer Multielement-Materialien für Spezialtechnologien.
Reliant-Abscheidungsprodukte
Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) Chemische Plasma-Gasphasenabscheidung mit hoher Dichte (HDP-CVD) Gepulste Laserabscheidung (PLD) Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) Reliant Systems
Unsere Reliant-Abscheidungsprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.