[보관함:] Products
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Dextro™
Dextro is a mobile unit with a robotic arm and uses various end-effectors as hands to manage critical equipment maintenance tasks that are time-consuming and prone to errors when done manually. Operated by a fab technician or engineer, Dextro executes complex maintenance tasks with precision and repeatability that are beyond human capability alone, enabling higher 더 보기…
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Triton 제품군
Triton 플랫폼은 단일 웨이퍼 도금과 습식 처리를 위한 다목적 모듈 솔루션입니다.
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Phoenix 제품군
Phoenix는 510x510mm 기판의 완전 자동화된 대량 패널 처리를 제공합니다.
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Kallisto 제품군
300x300mm에서 1100x1100mm(5.1세대)까지 기판의 습식 화학 처리를 위한 첨단 수직 공정 플랫폼으로 반도체 업계의 요구 사항에 맞게 제작되었습니다.
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Semiverse™ Solutions
당사의 반도체 공정 모델링 소프트웨어인 SEMulator3D® 는 식각, 증착 및 기타 통합 공정의 예측 모델링을 통해 제조에 앞서 발생 가능한 문제를 식별합니다. VizGlow™은 비평형 플라스마 방전의 높은 정확도(high-fidelity) 모델링을 위한 시뮬레이션 플랫폼입니다.
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OverViz
OverViz™는 플라즈마 방전의 높은 정확도(high-fidelity) 모델링을 위한 산업용 시뮬레이션 소프트웨어 플랫폼입니다.
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SEMulator3D
SEMulator3D®는 광범위한 기술 개발 역량을 갖춘 반도체 공정 모델링 플랫폼입니다.
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펄스 레이저 증착제품군
램리서치의펄스 레이저 증착제품군은 특수 기술 응용 분야의 다양한 복합 다중 요소 재료에 맞는 박막 증착 솔루션을 제공합니다.
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Coventor Product Family
Our semiconductor process modeling software (SEMulator3D) and plasma modeling software (OverViz) perform predictive modeling of etch, deposition, plasma & other processes, to identify problems prior to fabrication.
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고선택비 식각 제품군
획기적인 고선택비 식각 장비 포트폴리오는 3D 구조와 첨단 로직 및 파운드리 애플리케이션을 위한 옹스트롬(Å) 수준의 정밀도와 초고도 선택비 기반의 역량으로 등방성 식각을 지원합니다.