OverViz
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플라스마 모델링
VizGlow™은 비평형 플라스마 방전의 높은 정확도(high-fidelity) 모델링을 위한 산업용 시뮬레이션 툴입니다. OverViz™ Simulation Suite의 일부로서 전자기파, 유체 흐름 및 운동 입자 모델과 완벽하게 결합되어 다양하고 복잡한 다중물리 문제의 해결책을 제시할 수 있습니다. 수 mTorr의 저압 플라즈마 반응기부터 15atm의 고압 스트리머까지 모든 범위의 방전을 분석하는 데 사용되고 있습니다. VizGlow는 완전히 병렬화되어 복잡한 기하학 구조를 가진 대규모 3D 시뮬레이션을 수행하는 데 사용할 수 있습니다.
산업의 과제
플라즈마 시뮬레이터의 사용자는 특정 플라즈마 문제에 대해 올바른 모델을 선택하고, 문제를 해결하기 위한 올바른 수치적 접근법을 선택해야 할뿐 아니라 시뮬레이터의 결과를 올바르게 해석해야 하는 문제에 지속해서 직면합니다. VizGlow는 반도체 산업에서 직면한 문제에 초점을 맞춰 지난 20년 동안의 시뮬레이션 검증 및 검증 캠페인을 통해 개발되어 왔습니다. VizGlow는 초기부터 단일 프레임워크 안에서 서로 다른 모든 물리학을 수용할 수 있도록 설계되었습니다.
주요 고객 이점
- VizGlow는 반도체 장비와 집적회로(IC) 제조 산업을 지원합니다. 반도체 제조업체는 VizGlow를 통해 기존 장비를 분석하고, 공정을 개선하며, 새로운 장비 컨셉을 개발합니다. IC 제조업체는 램리서치의 소프트웨어를 통해 제조 공정을 최적화하고, 공정 이상을 식별 또는 수정하며, 새로운 장비를 설계합니다.
- VizGlow는 ChemZone을 통해 광범위한 화학 데이터베이스와 완벽하게 연동되어 더욱 강화되었습니다. ChemZone은 반도체 제조의 대규모 공정 파라미터 공간을 빠르게 탐색할 뿐만 아니라 새로운 유한 속도 화학 역학 메커니즘, 공정 플라즈마, 연소 및 기타 기체 화학 역학의 개발 및 검증에 활용됩니다.
제품 제공
- VizGlow – 완전 연동형 비평형 플라즈마 해결
- VizSpark – 열 플라즈마 시뮬레이터
- ChemZone – 고속 플라즈마 화학 시뮬레이터
주요 응용 프로그램
- 반도체 식각 & 증착
- 제조 레시피 & 공정 최적화
- 공정 이상 식별 & 수정
- 플라즈마 추진
- 분진 & 플라스마 행동 시뮬레이션
- 레이저 플라즈마 시뮬레이션