Pulsus 제품군
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펄스 레이저 증착(PLD)
펄스 레이저 증착(pulsed laser deposition, PLD)은 매우 다양한 고급 박막 재료를 증착할 수 있는 다목적 박막 증착 기술입니다. 오늘날의 향상된 신소재 시스템에 대한 시장 수요에 따라 PLD를 사용하면 PVD 반응 스퍼터링과 같은 기존 기술로는 증착이 어려운 층을 증착할 수 있습니다.
이 증착 솔루션으로 더욱 발전된 디바이스 설계를 할 수 있으며, 이 솔루션은 5G, WiFi 6 및 6E, 고급 MEMS 마이크 및 기타 MEMS 응용 분야를 위한 차세대 RF 필터를 이끌어 나가고 있습니다. PLD 기술은 AR/VR 및 양자 컴퓨팅과 같은 응용 분야를 위한 새로운 소재 시스템에 대한 시장 수요를 충족시키기 위해 지속적으로 개발되고 있습니다. 반도체 업계의 선두주자인 램리서치는 뛰어난 엔지니어링을 통해 혁신의 속도를 앞당기고 칩 제조업체가 오늘날 세계를 형성하는 특수 기술을 개발할 수 있도록 지원하고 있습니다.
Industry Challenges
특수 기술의 다양한 응용 분야에는 신소재를 위한 공정이 필요합니다. 이러한 소재 중 하나로 스칸듐 함량이 높은 질화 알루미늄(AlScN)이 있습니다. 5G 시장이 성장함에 따라 고주파 대역 필터의 필요성이 높아졌고 이로 인해 기존 대량 생산 기술은 도전 과제에 직면하고 있습니다. 이러한 까다로운 요구 사항을 해결하려면 첨단 소자 설계를 가능하게 하는 다목적 박막 증착 기술이 요구됩니다. 램리서치의 Pulsus™ PLD 제품은≥ 40% AlScN 박막을 대량 생산할 수 있습니다.
- RF 필터는 네트워크가 처리할 수 있는 사용자의 수를 늘리는 동시에 각 사용자의 경험을 개선하는 등 5G, WiFi 6 성능에 있어 매우 중요한 역할을 담당합니다. 박막의 높은 스칸듐 함량은 기계적 결합 계수를 향상시켜 RF 필터 성능을 향상시킵니다.
- MEMS 마이크는 5G 지원 장치의 음성 제어 기능 및 잡음 제거에 필수적인 높은 신호 대 잡음비를 통해 희미한 잡음이 섞인 소리도 정확하게 포착한다는 점에서 좋은 평가를 받고 있습니다. 박막의 높은 스칸듐 함량은 피에조 성능(e31,f)과 유전체 손실(tan d)을 결합하여 신호 대 잡음비를 개선합니다.
Key Customer Benefits
- AlScN 같은 세라믹처럼 복잡한 재료를 증착할 수 있는 다기능성
- 높은 압전 성능과 낮은 유전 손실을 포함한 우수한 막 품질
- 막 두께 및 응력의 WiW 균일성 개선과 같은 고급 막 제어
- 2300® 전송 모듈의 기존 설치 기반을 활용하여 식각 등 다른 램리서치 제품과의 시너지 효과 창출
Product Offerings Pro
- Pulsus™
Key Applications
- RF MEMS, MEMS 마이크, PMUT(piezoelectric micromachined ultrasonic transducers), 마이크로 스피커용 AIScN 층