SEMulator3D
PRODUCTS
COVENTOR SEMICONDUCTOR PROCESS MODELING
ADVANCED MEMORY, INTERCONNECT, OPTOELECTRONICS & PHOTONICS, PATTERNING, SENSORS & TRANSDUCERS, TRANSISTOR
SEMulator3D®는 광범위한 기술 개발 역량을 갖춘 반도체 공정 모델링 플랫폼입니다. SEMulator3D는 고효율의 물리 기반 복셀(voxel) 모델링 기술을 기반으로 전체 공정 흐름을 모델링합니다. SEMulator3D는 설계 데이터 입력으로 시작하여 통합된 공정 흐름을 따라 팹에서 생성되는 복잡한 3D 구조와 동등한 가상 구조를 생성합니다.
SEMulator3D의 공정 모델링 및 분석은 첨단 나노 제조 공정에서 빠르고 정확한 “가상 제조”에 사용되므로, 엔지니어가 개발 과정 초기에 제조 효과를 이해할 수 있고, 시간과 비용이 많이 드는 실리콘 학습 주기를 단축할 수 있습니다.
Industry Challenges
GAA(Gate-All-Around) FET, 3D 메모리, BEOL 및 후면 패터닝을 비롯한 3D 공정의 지속적인 반도체 기술 발전은 공정 개발의 복잡성을 크게 증가시켰습니다. 이에 따라 기술 개발에 대한 기존의 제조 및 테스트 방법은 비용과 시간이 많이 소요됩니다.
수십억 달러의 투자가 필요한 최첨단 팹과 점점 더 복잡해지는 기술로 인해 실리콘 엔지니어링의 시행착오에는 엄청난 비용과 시간이 소요됩니다. 또한 시장 출시 시점을 놓쳤을 때 큰 불이익이 발생하게 됩니다. Coventor의 반도체 공정 모델링 소프트웨어를 사용한 예측형 3D 공정 모델링은 실리콘 학습 주기를 단축하고 개발 비용을 절감하며 시장 출시 시점을 놓칠 수 있는 리스크를 낮춰주는 대안적 접근 방법입니다. 수 주에서 수개월이 소요되는 실제 웨이퍼 공정과 달리, 가상 제조에서는 몇 분 또는 몇 시간이면 결과를 생성할 수 있습니다.
Coventor의 SEMulator3D 가상 제조 플랫폼을 사용한 예측형 3D 공정 모델링은 기존의 실리콘 실험 학습에 수반되는 개발 주기 시간과 비용을 줄여줍니다. SEMulator3D는 가상으로 가공된 웨이퍼를 개발에 활용함으로써 기업들이 새로운 기술을 양산에 더욱 빠르게 도입할 수 있도록 지원합니다.
Key Customer Benefits
- 시간 절약 – 실제 실리콘은 수 주에서 수개월이 소요되지만, 시뮬레이션에서는 단 몇 시간 내지 며칠 소요
- 비용 절감 – 장비 투자, 엔지니어링 및 직원, 웨이퍼, 마스크, 화학 물질, 소모품 및 시설에 수반되는 비용의 절감
Key Applications
Pathfinding
- Process integration validation
- Big Branch decisions
- Process assumptions
Defect Analysis
- 3D Failure Checks
- Defect Kill Ratio
- R/C, Leakage, Device, IV, CV, etc.
Yield: Ramp and HVM
- Design Process Optimization
- Process Window Optimization
- Cross-Wafer Uniformity