[Solution:] Optoelectronics & Photonics

Coventor Product Family

플라스마 모델링 반도체 프로세스 모델링

Our semiconductor process modeling software (SEMulator3D) and plasma modeling software (OverViz) perform predictive modeling of etch, deposition, plasma & other processes, to identify problems prior to fabrication.

Advanced Memory, Interconnect, Optoelectronics & Photonics, Patterning, 센서 및 트랜스듀서, Transistor

DSIE 제품군

Deep Reactive Ion Etch (DRIE)

여러 딥 실리콘 식각 주요 및 비주요 공정에서 높은 생산성으로 공정을 완벽하게 제어합니다.

Analog & Mixed Signal, Discrete & Power Devices, Optoelectronics & Photonics, 센서 및 트랜스듀서

DV-Prime & Da Vinci 제품군

Wet Clean

제조 전반에 걸쳐 웨이퍼 세정의 여러 단계를 높은 생산성으로 처리하는 데 필요한 공정 유연성을 갖추고 있습니다.

Advanced Packaging, Analog & Mixed Signal, Discrete & Power Devices, Interconnect, Optoelectronics & Photonics, Patterning, Transistor, 센서 및 트랜스듀서

FLEX 제품군

Atomic Layer Etch (ALE) Reactive Ion Etch (RIE) 극저온 식각

램리서치의 유전체 식각 시스템은 용도에 맞춘 기능 덕분에 고급 소자의 까다로운 구조를 다양하게 만들 수 있습니다.

Advanced Memory, Advanced Packaging, Analog & Mixed Signal, Discrete & Power Devices, Interconnect, Optoelectronics & Photonics, Patterning, Transistor

Kallisto 제품군

Electrochemical Deposition (ECD)

300x300mm에서 1100x1100mm(5.1세대)까지 기판의 습식 화학 처리를 위한 첨단 수직 공정 플랫폼으로 반도체 업계의 요구 사항에 맞게 제작되었습니다.

Advanced Memory, Advanced Packaging, Advanced Substrates, Analog & Mixed Signal, Automotive, Discrete & Power Devices, Mini/Micro LED, Optoelectronics & Photonics, Panel Level Fanout

OverViz

플라스마 모델링

OverViz™는 플라즈마 방전의 높은 정확도(high-fidelity) 모델링을 위한 산업용 시뮬레이션 소프트웨어 플랫폼입니다.

Advanced Memory, Advanced Packaging, Analog & Mixed Signal, Discrete & Power Devices, Interconnect, Optoelectronics & Photonics, Transistor, 센서 및 트랜스듀서

Phoenix 제품군

Electrochemical Deposition (ECD) PR-Development PR-Strip Wet Clean/Strip/Etch

Phoenix는 510x510mm 기판의 완전 자동화된 대량 패널 처리를 제공합니다.

Advanced Memory, Advanced Packaging, Advanced Substrates, Analog & Mixed Signal, Automotive, Discrete & Power Devices, Mini/Micro LED, Optoelectronics & Photonics, Panel Level Fanout

Reliant Clean 제품

Reliant Systems Wet Clean/Strip/Etch

램리서치의 Reliant 세정 제품군은 특수 기술의 로드맵을 지원하고 제조 시설의 생산 수명을 연장하는 솔루션을 제공합니다.

Analog & Mixed Signal, Discrete & Power Devices, Interconnect, Optoelectronics & Photonics, Patterning, Transistor, 센서 및 트랜스듀서

Reliant Deposition 제품

Chemical Vapor Deposition (CVD) High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reliant Systems 펄스 레이저 증착(PLD)

램리서치의 Reliant 증착 제품군은 특수 기술의 로드맵을 지원하고 제조 시설의 생산 수명을 연장하는 솔루션을 제공합니다.