[Technology:] Atomic Layer Etch (ALE)

FLEX 제품군

Atomic Layer Etch (ALE) Reactive Ion Etch (RIE) 극저온 식각 극저온 식각

램리서치의 유전체 식각 시스템은 용도에 맞춘 기능 덕분에 고급 소자의 까다로운 구조를 다양하게 만들 수 있습니다.

Advanced Memory, Advanced Packaging, Analog & Mixed Signal, Discrete & Power Devices, Interconnect, Optoelectronics & Photonics, Patterning, Transistor