OverViz
产品
VizGlow™ 是一种用于非平衡等离子体放电高保真建模的工业仿真设备。 作为 OverViz™ 仿真套件的一部分，它可以与电磁、流体流动和动力学粒子模型完全耦合，为各种复杂的多物理场问题提供解决方案。 它可用于分析从几 mTorr 的低压等离子体反应器到 15atm 的高压流体的放电——仅需一个求解器即可。 VizGlow 是完全并行化的，可用于执行具有复杂几何形状的大型 3D 仿真。
行业挑战
等离子体模拟器的用户经常会遇到这样的问题：为特定的等离子体问题选择正确的模型，选择正确的数值方法来解决问题，以及正确解释模拟器得出的结果。 VizGlow 专注于半导体行业遇到的问题，在二十年的仿真验证中被不断打磨。 自推出以来，VizGlow 可在单一框架中容纳所有不同的物理特性。
关键的客户受益
VizGlow 在支持半导体设备和集成电路（IC）制造业方面有着悠久的历史。 半导体制造商使用 VizGlow 分析现有设备、改进工艺并开发新的设备概念。 集成电路制造商利用我们的软件来优化其制造工艺、识别/纠正工艺异常以及设计新设备。 VizGlow 还通过 ChemZone 与广泛的化学数据库完全耦合，从而得到进一步加强，ChemZone 已被用于快速探索半导体制造中的大型工艺参数空间，以及开发和验证新的有限速率化学动力学机制、工艺等离子体、燃烧和其他气体化学动力学。
产品
- VizGlow – 全耦合非平衡等离子体求解器
- VizSpark – 热等离子体模拟器
- ChemZone – 快速等离子体化学模拟器
主要应用
- 半导体刻蚀和沉积
- 优化制造配方和工艺
- 识别和纠正工艺异常
- 等离子体推进
- 灰尘和等离子体行为模拟
- 激光等离子体模拟