等离子体建模 半导体工艺建模
Our semiconductor process modeling software (SEMulator3D) and plasma modeling software (OverViz) perform predictive modeling of etch, deposition, plasma & other processes, to identify problems prior to fabrication.
深反应离子刻蚀（DRIE）
这些产品为若干关键和非关键深硅刻蚀应用提供了高生产率的特殊工艺控制。
湿法清洗
这些产品提供了所需的工艺灵活性和高生产率，以解决整个制造过程中的多个晶片清洗步骤。
Atomic Layer Etch (ALE) 反应离子刻蚀（RIE）
Lam的介电刻蚀设备能够刻蚀各种具有挑战性的结构，以应用在先进器件上。
电化学沉积 (ECD)
先进的立式加工平台，用于对 300×300 毫米 至 5.1 代（1100×1300 毫米）的基板进行湿法化学制备，以满足半工业的需求。
等离子体建模
OverViz™ 是一个用于等离子体放电高保真建模的工业仿真软件平台。
光刻胶去除 光刻胶显影 湿法清洗/去胶/刻蚀 电化学沉积 (ECD)
Phoenix 可为 510×515 毫米的基板提供全自动大批量面板加工。
Reliant 设备 反应离子刻蚀（RIE） 深反应离子刻蚀（DRIE）
我们的 Reliant 刻蚀产品可实现特色工艺路线图，并延长晶圆厂的生产设备利用年限。
Reliant 设备 化学气相沉积（CVD） 等离子体增强化学气相沉积（PECVD） 脉冲激光沉积（PLD） 高密度等离子体化学气相沉积（HDP-CVD）
我们的 Reliant 沉积产品可实现特色工艺路线图，并延长晶圆厂的生产设备利用年限。
Reliant 设备 湿法清洗/去胶/刻蚀
我们的 Reliant 清洗产品可实现特色工艺路线图，并延长晶圆厂的生产设备利用年限。
半导体工艺建模
SEMulator3D® 是一个半导体工艺建模平台，具有广泛的技术开发能力。
高密度等离子体化学气相沉积（HDP-CVD）
这些介电质沉积产品提供高深宽比空间的完全间隙填充，具有行业领先的产量和可靠性。
这些经过验证的产品系列可提供可靠的、成本效益高的湿清洗/湿刻蚀解决方案，可温和地去除晶片上不需要的材料。
湿法清洗/去胶/刻蚀 电化学沉积 (ECD)
Triton 平台是用于单晶圆电镀和湿法工艺的多功能模块化解决方案。
等离子体增强化学气相沉积（PECVD）
Lam的PECVD产品系列为广泛的器件应用提供了高生产率的精密介电薄膜沉积。
