Reliant 设备 化学气相沉积（CVD） 等离子体增强化学气相沉积（PECVD） 脉冲激光沉积（PLD） 高密度等离子体化学气相沉积（HDP-CVD）
我们的 Reliant 沉积产品可实现特色工艺路线图，并延长晶圆厂的生产设备利用年限。
脉冲激光沉积（PLD）
我们的脉冲激光沉积产品系列为特色工艺应用领域的各种复杂多元素材料提供了薄膜沉积解决方案。
