Akara® 旨在实现具有最大工艺良率的大批量生产，可提高晶圆产量并消除时间浪费，其对任何变化的响应时间均为毫秒级。 行业最先进的刻蚀均匀性控制可提供埃米级关键尺寸下的均匀性和晶圆间可重复性。
清洁 维护 自动化
Dextro 是一个带有机械臂的移动装置，其使用各种末端执行器作为手来完成关键的设备维护任务，而这些任务在人为 阅读全文……
