Atomic Layer Deposition (ALD) 化学气相沉积(CVD)
结合CVD和ALD技术,这些市场领先的系统为先进的钨金属化应用沉积高度共形的金属膜。
Atomic Layer Deposition (ALD)
使用先进的ALD技术,这些产品提供纳米级尺寸下器件关键工艺所需的介电薄膜。