彙整: Products
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Akara®
Akara® 專為大量生產所設計,實現最大製程良率,增加晶圓產量,並消除時間浪費,對任何變化的反應時間僅為毫秒。 業界最先進的蝕刻均勻度控制能力,可提供埃米級關鍵尺寸均勻性和晶圓到晶圓的可重複性。
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Triton 產品系列
Triton 平台是用於單晶圓電鍍和濕式製程的多功能模組化解決方案。
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Phoenix 產品系列
Phoenix 可為 510×515 公釐基板提供全自動大量面板製程。
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Kallisto 產品系列
先進的立式製程平台,用於對 300×300 公釐 至 5.1 代(1100×1300 公釐)的基板進行濕式化學處理,以滿足半導體產業的需求。
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Semiverse™ 解決方案
我們的半導體製程建模軟體 SEMulator3D® 可對蝕刻、沉積和其他整合製程進行預測建模,以便在製造前發現問題。 VizGlow™ 是一種用於非平衡電漿放電高真實性建模的模擬平台。
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OverViz
OverViz™ 是一個用於電漿放電高真實性建模的工業模擬軟體平台。
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SEMulator3D
SEMulator3D® 是一個半導體製程建模平台,具有廣泛的技術開發能力。
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Prestis™
我們的 Prestis™ 產品為特殊製程應用領域的各種複雜多元素材料,提供了薄膜沉積解決方案。
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Coventor Product Family
Our semiconductor process modeling software (SEMulator3D) and plasma modeling software (OverViz) perform predictive modeling of etch, deposition, plasma & other processes, to identify problems prior to fabrication.