彙整: Products
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VECTOR系列產品
Lam Research的 PECVD產品能以高生產力為各種元件應用提供精密的介電層薄膜沉積。
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ALTUS系列產品
結合化學氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）技術，這些領先市場的系統可為先進的鎢金屬化應用沉積出所需之高度均勻一致的（conformal）薄膜。
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SABRE 3D 系列產品
利用Lam Research通過驗證的Electrofill 技術，這些高生產力系統可為先進封裝應用提供所需的高品質金屬薄膜。
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SABRE系列產品
此系列產品可在生產力領先業界的ECD平台上提供銅鑲嵌(damascene)製程所需的精密金屬電鍍功能。