- VizGlow 在支援半導體設備和積體電路(IC)製造業方面有著悠久的歷史。 半導體製造商使用 VizGlow 來分析現有設備、改善製程並開發新的設備概念。
- 積體電路製造商利用我們的軟體來最佳化其製造製程、識別/修正製程異常以及設計新設備。 VizGlow 還透過 ChemZone 與廣泛的化學資料庫完全耦合,從而得到進一步加強,ChemZone 已被用於快速探索半導體製造中的大型製程參數空間,以及開發和驗證新的有限速率化學動力學機制、製程電漿、燃燒和其他氣體化學動力學。
- VizGlow-全耦合非平衡電漿求解器
- VizSpark-熱電漿模擬器
- ChemZone-快速電漿化學模擬器
- 半導體蝕刻和沉積
- 最佳化製造配方和製程
- 識別和修正製程異常
- 電漿推進
- 灰塵和電漿行為模擬
- 雷射電漿模擬
行业挑战
電漿模擬器的使用者經常會遇到這樣的問題:為特定的電漿問題選擇正確的模型,選擇正確的數值方法來解決問題,以及正確解釋模擬器得到的結果。 VizGlow 專注於半導體產業遇到的問題,經過二十年的模擬驗證和確效工作,才打造出這項產品。 從一開始,VizGlow 便是以在單一框架中納入所有不同的物理學所設計的。