スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばす
ラムリサーチのRELIANT®製品は、スペシャルティ・テクノロジー市場向けや従来のCMOS14 nm以上のノード向けなど、幅広いアプリケーション向けにエッチング、成膜、および洗浄ソリューションを提供します。
スペシャルティ・テクノロジーでは、重要なステップを含む新しいソリューションを開発することで、お客様のロードマップを実現しています。 スペシャルティ・テクノロジーは成長市場で、電力、CMOS イメージセンサ（CIS）、無線周波数（RF）、オプトエレクトロニック、アナログおよびミックスドシグナル、微小電気機械システム（MEMS）などのデバイスが含まれます。 また、確立された 300 mm 技術を活用して、必要に応じて 200 mm ソリューションを開発することで、これらのファブの生産寿命を延ばすこともできます。
従来の CMOS14 nm 以上のノードについては、新しい既存の施設を拡大、またはファブを構築する必要があります。 ラムリサーチは優れたソリューションを提供することで、継続的に素早くソリューションをお届けします。
RELIANT システム
RELIANT クリーニング製品
RELIANT システム ウェットクリーニング/ストリップ/エッチング
ラムリサーチの RELIANTクリーニング製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。
RELIANTエッチング製品
RELIANT システム ディープリアクティブ・イオンエッチング（DRIE） リアクティブ・イオンエッチング（RIE）
当社の RELIANT エッチング製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。
RELIANT成膜製品
RELIANT システム パルスレーザー堆積（PLD） プラズマ化学気相成長（PECVD） 化学気相成長（CVD） 高密度プラズマ化学気相成長（HDP-CVD）
RELIANT 成膜製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。