生産性を飛躍させ、耐用年数を延ばす
ラムリサーチは既設装置を最適化する様々な生産性アップグレード・技術拡張を用意しています。生産性、信頼性、効率性を高め、製品ライフサイクル全体にわたる総コストを削減するように設計されています。
プラズマエッチャー、デポジション、フォトレジスト・ストリップ、ウェハ・クリーンなど一連の製品はアップグレードの対象になっています。アップグレード製品群は既設装置の性能または生産性を向上させる2種類があります。
技術アップグレード は既設装置で次世代製品の製造に対応できるようアップグレードするため、耐用年数が伸びます。
- 設備運用 – 稼働率が低い設備を工場の生産ニーズに合った仕様に最適化します。
- 世代延長 – 最新技術ノード以前に設置された装置を次の世代でも使用できるよう改造します
生産性アップグレード は装置の稼働率、スループット、歩留まりを改善することで、より低い運用コストで良品の製造アウトプット増加を実現します。
- 稼働率 – 装置の信頼性と保守性を高め、メンテナンス間隔を延ばし、ダウンタイムを短縮することで総合的な設備稼働率を高めます。
- スループット – 非稼働時間やレシピ作成時間を短縮し、ウェハの流れを最適化することで装置の生産能力を高めます。
- 歩留まり – 欠陥、バラツキ、スクラップ・ウェハを削減することで良品の製造アウトプットを増加させます。
- グリーン – エネルギ消費、ガス排出、パーフルオロカーボン（PFC）排出の低減を行い、お客様の環境保全活動や法令遵守を支援します。
詳細はMyLam® をご覧になるか、ラムリサーチ担当者にお問い合わせください。