サステナブルな製品イノベーション

以下のサステナブルな製品イノベーションを実施しています。

製品の効率性と持続可能性は密接に関連しています

ラムリサーチは、原材料やエネルギー、スペースの使用を最小限にしつつ、生産性を最大化することが可能であると証明しています。 私たちは、ラムリサーチの、そしてお
客様の事業と持続可能性のゴールにそって製品と工程をよりスマートに、より効率的に最適化しています。ラムリサーチの排出量の大部分は製品を使用する際に発生するため、

これらのイニシアチブは私たちのネットゼロへの歩みにとって極めて重要です。 永続的かつ効率的な製品ソリューションを通じてお客様の価値を高めるだけでなく、科学的根拠に基づいた目標を設定し、それを追求するようにお客様に働きかけています。 ラムリサーチとお客様の競争力を高めながらネットゼロへ近づくために、次のような取り組みを行なっています:

当社装置のカーボンフットプリントとエネルギー消費量の測定
当社製品のエネルギー使用量と温室効果ガス（GHG）フットプリントのベースラインデータを確立するために、Equipment Intelligence センサーを使用しています。 これは、プロセスやツールの最適化を続けるなかで、進捗状況を追跡・測定する助けとなります。

エネルギー削減の推進
2つのアプローチを通じて、製品ベースのエネルギー消費を削減する新たな方法を模索しています。 私たちは、ウェハ 1 枚 1 枚を製造する際に消費されるエネルギー量を削減する製品の改良に注力し、またエネルギー効率がより良いヒーターや無線周波数電源、純粋にエネルギーの節約を可能にするその他のコンポーネントを備えた装置を構築することによって、これを実現します。

環境配慮設計（DfE）の原則を取り入れる
DfEの原則は、製品のライフサイクル全体を念頭に置いて製品を開発するよう私たちを導いています。 それによって、ラムリサーチは製品の品質と価値を維持または向上させつつ、環境への負荷を低減する方法を模索しています。

さらに進化する製品づくり
ラムリサーチは、性能、有用性そしてコストのバランスをとりながら、高品質で欠陥の少ない、循環性を高めるように設計された消耗および非消耗のスペアパーツを提供しています。 ラムリサーチのスペア製品は、再洗浄、修理、改修、再コーティングなどのサービスをご利用いただけます。 これにより、静電チャック、無線周波数（RF）ハードウェア、シャワーヘッド、その他の高価なスペアパーツの再利用が可能になります。 これらのパーツを再利用することで、私たちは製品に付加価値を与え、新しい装置を製造する際の環境への影響を軽減しています。

製品の品質と安全を重視することは、すべてのラムリサーチの業務の基本です。 ラムリサーチの製品安全エンジニアは、部門横断的な品質リーダーシップチームによる監督を受けながら、ラムリサーチが提供する製品とサービスが、使用目的において安全であり、市場の規制と基準に準拠していることを確認しています。 私たちは体系的なアプローチで継続的に製品を改善し、調整が必要な場合は迅速に対応します。 また、ラムリサーチは品質管理システムにフレームワークを提供する国際基準であるISO9001認証を取得しています。

製品の安全性に関する懸念事項発生防止、報告、対処
ラムリサーチ製品のリリースプロセスの一部として、すべての新製品は安全認証試験を受けます。 SEMI S2 として一般に知られている製品安全報告書に結果を文書化しています。 ラムリサーチのロジスティクスチームは、洗浄液や潤滑剤といったマテリアルに安全データシートを提供します。 お客様は、ラムリサーチとサービス契約を締結し、適切な製品メンテナンスを受けることができます。また、ラムリサーチは製品の安全な使用に関する通常 1 週間のトレーニングをお客様に提供します。

製品の安全性や性能に関する問題が発生したときは、お客様ごとに通知します。 また、フィールドサービス担当者やお客様がラムリサーチに安全上の問題を報告できるようなシステムも整えています。 製品安全チームは、安全性の懸念を確認するために問題を評価します。 問題が製品に関するものである場合、チームは通常、安全問題報告書を作成し、これに対処します。 問題が行動に関するものである場合、チームはローカルレベルで問題を対処します。

より大規模な安全性のベストプラクティスの促進
お客様や業界の同業者との協力を通じて、業界における製品安全のベストプラクティスをさらに推進します。 例えば、ラムリサーチは SEMI 装置サプライヤーグループがリードすることをサポートし、業界に影響を与える新しい製品規制に対処します。 ラムリサーチは20年以上の間、関係者と協力し半導体製造装置に関するSEMI 環境安全衛生（EHS）ガイドラインの開発、実施、継続的な改善に取り組んできました。 こうした基準は、半導体産業やそのほかの産業で広く使用され、装置、機器、職場環境に関する危険を最小限にしています。

半導体イノベーションの新たな可能性を共に実現 ラムリサーチの技術ビジョンを通じて、私たちは、可能性の限界を押し広げ、半導体技術革新の未来がもたらす新たな機会を実現するために、この業界で最も優秀な頭脳を数多く動員しています。 大学や研究者との協力から業界イベントの主催やスポンサーなど、新しい発見を促す機会へ投資をし、大きなアイデアをたたえています。

ラムリサーチの技術ビジョンには、革新的な人材を育成し、技術を進歩させるという目標をサポートする2つの要素があります：

• 教育の機会とイベントは、知識を共有し、協力し、新しいアイデアを刺激するために技術コミュニティを奨励しています
• 社内および一般向けンイノベーション・プログラムは、外部との協力を活用し、より良いソリューションと速い学習サイクルを可能にします

このアプローチを通して、機会を実現し続け、複雑な問題を解決し、革新的な人材を育成し、技術を前進させる機会を実現し続けています。 以下は、ラムリサーチの技術ビジョンの例です。