プラズマモデリング 半導体プロセスモデリング
Lam の半導体プロセスモデリングソフトウェア、SEMulator3D®は、エッチングや成膜、および他の統合プロセスの予測モデリングを行い、製造を行う前に問題を特定します。 VizGlow™は非平衡プラズマ放電を高精度にモデリングするシミュレーションプラットフォームです。