OverViz
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プラズマモデリング
VizGlow™は非平衡プラズマ放電を高精度にモデリングするシミュレーションツールです。 OverViz™ Simulation Suiteの電磁気、流体、粒子運動論モデルと完全に結合することができ、広い範囲にわたる複雑なマルチフィジックスの問題にソリューションを提供します。 数mTorrの低圧プラズマから15気圧もの高圧ストリーマにわたる放電をすべて単一のソルバーで解析します。 VizGlowは完全に並列化されているため大規模かつ複雑な形状の3Dシミュレーションを実行することが可能です。
業界の課題
プラズマシミュレータのユーザーは特定の問題に対する正しいモデルの選択、問題を解く正しい数値計算法の選択、そしてシミュレーション結果の正しい解釈といった課題と常に直面しています。 半導体産業で直面するこうした課題に対するVizGlow の注力は、20 年間にわたるシミュレーション検証および実証キャンペーンを通じて、この製品に結実しています。 その開発当初から、VizGlow はあらゆる異なった物理学を単一のフレームワークの中で取り扱えるように設計されてい
お客様の主なメリット
- VizGlow には、半導体製造装置と集積回路 (IC) 製造産業を支えてきた実績があります。 半導体メーカーは VizGlow を使用して、既存装置の分析、プロセスの改善、新しい装置コンセプトの開発を行っています。 IC メーカーは、ラムリサーチのソフトウェアを使用して、製造プロセスの最適化、プロセス異常の特定・改善、および新しい装置の設計を行っています。
- VizGlowは、ChemZone を介した広範な化学データベース探索と完全結合することによってさらに強化することができ、半導体製造における広大なプロセス・パラメーター空間を迅速に探索することや、新しい有限速度化学燃焼反応機構、プロセスプラズマ、燃焼、気体の反応速度論の開発と検証に使用されています。
製品の提供
- VizGlow – 完全結合非平衡プラズマソルバー
- VizSpark – 熱プラズマシミュレータ
- ChemZone – 高速プラズマ化学シミュレータ
キーアプリケーション
- 半導体エッチング&デポジション
- 製造レシピとプロセスの最適化
- プロセス異常の特定と改善
- プラズマ推進
- ダスト&プラズマ挙動シミュレーション
- レーザープラズマシミュレーション