トランスデューサとはエネルギの形態を変換するデバイスです。光、運動、熱、化学反応などのエネルギを別のエネルギ形態に変換するのです。例えばアクチュエータはエネルギーから機械的な運動を得るためのトランスデューサの一種です。特定のエネルギーを電気的（アナログ・デジタル）に読み取り可能な信号に変換する物はセンサーと呼ばれています。現在も多様なセンサやトランスデューサが私達の身の回りで、色々な現象を観測するのに使用されていますが、用途は更に拡大することが見込まれます。これらのデバイス製造には必ずしも最新の設備技術が必要ではありませんが、これらに特有な異形構造に対処できる個別プロセスが必要になります。また他のデバイス製造では見ることの無い、圧電薄膜等の特殊な材料を扱う工程もあります。それ故に設備の技術的機能、信頼性、生産性、トータルなコスト効率は極めて重要になります。
センサー & トランスデューサ
ラムリサーチのソリューション
Coventor Product Family
プラズマモデリング 半導体プロセスモデリング
Our semiconductor process modeling software (SEMulator3D) and plasma modeling software (OverViz) perform predictive modeling of etch, deposition, plasma & other processes, to identify problems prior to fabrication.
DSIE シリーズ製品
ディープリアクティブ・イオンエッチング（DRIE）
このシリーズ製品は、クリティカル・非クリティカルを問わず、ディープシリコンエッチング用途に対し、優れた生産性の高いプロセス制御を提供します。
DV-PRIME & DA VINCI シリーズ
ウェットクリーニング
これらの製品は製造工程全体にわたる複数のウェハクリーニングステップにおいて求められる高い生産性と柔軟性を実現するプロセスを提供します。
KIYO シリーズ製品
リアクティブ・イオンエッチング（RIE）
業界をリードするコンダクターエッチング製品は、クリティカルなデバイス機能に必要な高精度と高い生産性での制御を実現します。
METRYX シリーズ製品
Mass Metrology
ラムリサーチの質量計測システムは、高度なプロセス監視と3次元デバイス構造の制御により、サブミリグラムレベルの計測能力を提供します。
OverViz
プラズマモデリング
OverViz™は、プラズマ放電を忠実にモデリングするための産業用シミュレーションソフトウェア・プラットフォームです。
RELIANT クリーニング製品
RELIANT システム ウェットクリーニング/ストリップ/エッチング
ラムリサーチの RELIANTクリーニング製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。
RELIANTエッチング製品
RELIANT システム ディープリアクティブ・イオンエッチング（DRIE） リアクティブ・イオンエッチング（RIE）
当社の RELIANT エッチング製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。
RELIANT成膜製品
RELIANT システム パルスレーザー堆積（PLD） プラズマ化学気相成長（PECVD） 化学気相成長（CVD） 高密度プラズマ化学気相成長（HDP-CVD）
RELIANT 成膜製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。
SEMulator3D
半導体プロセスモデリング
半導体プロセスモデリング・プラットフォーム SEMulator3D® は広範囲にわたる技術開発環境を提供します。
SP シリーズ製品
ウェットクリーニング
この実証済みの製品ファミリーは、ウェハから不要な材料を無理なく除去する、高信頼性、高コスト効率のウェットクリーニング/ウェットエッチングソリューションを提供します 。
SPEED シリーズ製品
高密度プラズマ化学気相成長（HDP-CVD）
これらの酸化膜成膜製品は、業界最高のスループットと信頼性を備えた高アスペクト比スペースの完全なギャップフィル機能を提供します。
Syndion製品ファミリー
ディープリアクティブ・イオンエッチング（DRIE） リアクティブ・イオンエッチング（RIE）
ディープエッチング用途では、高アスペクト比の重要な形状に必要な卓越したウェーハ全体にわたる均一性制御を提供します。
VECTOR シリーズ製品
プラズマ化学気相成長（PECVD）
ラムリサーチ社のPECVD製品ファミリーは、幅広いデバイスアプリケーションに対応した高い生産性の精密な酸化膜成膜を提供します。
脉冲激光沉积シリーズ製品
パルスレーザー堆積（PLD）
Lamの脉冲激光沉积シリーズ製品は、スペシャルティテクノロジーアプリケーション向けに、幅広い複雑な多元材料の薄膜成膜ソリューションを提供します。