Technology: Atomic Layer Etch (ALE)
FLEX シリーズ製品
Atomic Layer Etch (ALE) リアクティブ・イオンエッチング（RIE） 極低温エッチング
ラムリサーチの酸化膜エッチシステムは、先進のデバイスに求められる複雑な構造を備えた幅広いアプリケーションに配慮した機能を提供します。
高度なパッケージング, アナログ・ミックスドシグナル, インターコネクト, オプトエレクトロニクス・フォトニクス, ディスクリート・パワーデバイス, トランジスタ, パターニング, 高度なパッケージング, 高度なメモリ
