Technology: プラズマ化学気相成長（PECVD）
RELIANT成膜製品
RELIANT システム パルスレーザー堆積（PLD） プラズマ化学気相成長（PECVD） 化学気相成長（CVD） 高密度プラズマ化学気相成長（HDP-CVD）
RELIANT 成膜製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。
高度なパッケージング, RF MEMS, アナログ・ミックスドシグナル, インターコネクト, オプトエレクトロニクス・フォトニクス, センサーとトランスデューサー, ディスクリート・パワーデバイス, トランジスタ, パターニング, 高度なメモリ
VECTOR シリーズ製品
プラズマ化学気相成長（PECVD）
ラムリサーチ社のPECVD製品ファミリーは、幅広いデバイスアプリケーションに対応した高い生産性の精密な酸化膜成膜を提供します。
高度なパッケージング, アナログ・ミックスドシグナル, インターコネクト, オプトエレクトロニクス・フォトニクス, センサーとトランスデューサー, ディスクリート・パワーデバイス, トランジスタ, パターニング, 高度なメモリ