プラズマモデリング Archives - Lam Research

Technology: プラズマモデリング

Coventor Product Family

プラズマモデリング 半導体プロセスモデリング

Our semiconductor process modeling software (SEMulator3D) and plasma modeling software (OverViz) perform predictive modeling of etch, deposition, plasma & other processes, to identify problems prior to fabrication.

OverViz

プラズマモデリング

OverViz™は、プラズマ放電を忠実にモデリングするための産業用シミュレーションソフトウェア・プラットフォームです。

Semiverse™ソリューション

プラズマモデリング 半導体プロセスモデリング

Lam の半導体プロセスモデリングソフトウェア、SEMulator3D®は、エッチングや成膜、および他の統合プロセスの予測モデリングを行い、製造を行う前に問題を特定します。 VizGlow™は非平衡プラズマ放電を高精度にモデリングするシミュレーションプラットフォームです。

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