Technology: ウェットクリーニング/ストリップ/エッチング
RELIANT クリーニング製品
RELIANT システム ウェットクリーニング/ストリップ/エッチング
ラムリサーチの RELIANTクリーニング製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。
トリトン製品シリーズ
ウェットクリーニング/ストリップ/エッチング 電解メッキ (ECD)
トリトンプラットフォームは、シングルウェハめっきおよびウェット処理用の汎用性の高いモジュール式ソリューションです。
フェニックス製品シリーズ
PR ストリップ PR 現像 ウェットクリーニング/ストリップ/エッチング 電解メッキ (ECD)
フェニックスは510x515mm 基板用の全自動大量パネル加工を提供します。